主營產(chǎn)品：太陽能擴(kuò)散爐，程控高低溫?cái)U(kuò)散爐，隧道爐
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北萬工業(yè)園)
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| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 福潤德 | 型號(hào) | 福潤德 |
| 加工定制 | 是 | ||
滿足半導(dǎo)體集成電路，電力電子器件，光電子等行業(yè)用于在硅片上淀積SiO2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜工藝。
CVD系統(tǒng)性能特點(diǎn)：
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