產品詳情
Soft collar 為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成,用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問題:一是保溫棉長時間高溫下出現粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動堵塞保溫棉不均勻,影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產品可長期使用在高溫下,不粉化,不硬化,不氧化,不變形,防震、耐腐蝕。
技術指標:
產品尺寸:根據客戶擴散爐或PECVD設備爐體口徑定制
使用溫度:≤1287℃
線性收縮:≤0.1%