主營(yíng)產(chǎn)品：全自動(dòng)硅片缺陷檢測(cè)復(fù)合機(jī)，機(jī)械手臂等
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| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號(hào) | GWP |
| 加工定制 | 是 | 結(jié)構(gòu)型式 | 臺(tái)式 |
可對(duì)應(yīng)硅片的內(nèi)部缺陷檢測(cè)。
【內(nèi)部檢測(cè)】:當(dāng)線性光照射硅片時(shí)，會(huì)穿透硅片。如果硅片內(nèi)部有PIN HOLE則會(huì)減少透光量。通過測(cè)量透光量來檢測(cè)硅片內(nèi)部的缺陷。
【缺陷種類】：PIN HOLE
【生產(chǎn)能力】；每片檢測(cè)最快只需 25S
【菜單功能】：可編輯檢測(cè)菜單，并進(jìn)行參數(shù)保存與導(dǎo)出
【檢測(cè)范圍】：除邊緣2mm
【檢測(cè)對(duì)象】：8~12寸 拋光片&外延片
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