主營(yíng)產(chǎn)品：全自動(dòng)硅片缺陷檢測(cè)復(fù)合機(jī)，機(jī)械手臂等
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| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號(hào) | GWE |
| 加工定制 | 是 | 結(jié)構(gòu)型式 | 臺(tái)式 |
可對(duì)應(yīng)300mm硅片的邊緣的缺陷檢測(cè)。
【邊緣檢測(cè)】：對(duì)硅片外周（Bevel）進(jìn)行非接觸式高速檢測(cè)。畫像處理根據(jù)預(yù)先設(shè)定的參數(shù)條件自動(dòng)提取各種缺陷，并判定是否合格。
【缺陷種類】：邊緣部：scratch，chip ; V-notch：scratch，chip
【生產(chǎn)能力】：根據(jù)缺陷種類不同每片檢測(cè)最快只需20S。
【菜單功能】：可編輯檢測(cè)菜單，并進(jìn)行參數(shù)保存與導(dǎo)出。
【檢測(cè)范圍】：邊緣，V-notch
【檢測(cè)對(duì)象】：12寸拋光片
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