型號			VK-9510K
類型			控制器
綜合倍率			28,800 倍以下*1
視野 (最小視野范圍)			11 μm 至 7,398 μm
幀率 (激光測量速度)			4 至 125 Hz、7,900 Hz*2
測量原理	光學(xué)系統(tǒng)		針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、變焦
?	光接收元件		16 bit 感應(yīng)光電倍增器、超高精細(xì)彩色CMOS
?	掃描方式 (常規(guī)測量時及圖像拼接時)		自動上下限設(shè)定功能、高速光量化功能 (AAGII)、反射光量不足補(bǔ)充功能 (雙掃描)
高量	顯示分辨率		0.5 nm (VK-X1100)、5 nm (VK-X1050)
?	線性標(biāo)尺		?
?	動態(tài)量程 (來自工件的光接收量的適用幅度)		16 bit
?	重復(fù)精度σ	激光共聚焦	20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm (VK-X1100) 20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1050)
?	?	變焦	5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1100) 5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm (VK-X1050)
?	高度數(shù)據(jù)獲取范圍		70 萬步驟
?	準(zhǔn)確性		0.2 + L/100 μm 或更小 (L = 測量長度 μm)*3
寬度測量	顯示分辨率		1 nm (VK-X1100)、10 nm (VK-X1050)
?	重復(fù)精度 3σ	激光共聚焦	20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm (VK-X1100) 20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1050)
?	?	變焦	5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1100) 5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm (VK-X1050)
?	準(zhǔn)確性		測量值±2 % 以內(nèi)*3
XY 載物臺結(jié)構(gòu)	手動 運(yùn)行范圍		70 mm x 70 mm
?	電動 運(yùn)行范圍		100 mm x 100 mm
觀察	觀察圖像		超高精細(xì)彩色CMOS 圖像、16 bit 激光彩色共焦點圖像、共焦點 + ND 濾波器光學(xué)系統(tǒng)、C - 激光微分干涉圖像
?	照明		環(huán)狀照明、同軸落射照明
測量用激光光源	波長		紫色半導(dǎo)體激光 404 nm (VK-X1100) 紅色半導(dǎo)體激光 661 nm (VK-X1050)
?	輸出		1 mW
?	激光產(chǎn)品		2 類激光產(chǎn)品 (GB7247.1)
電源	電源電壓		100 至 240 VAC、50/60 Hz
?	消耗電流		150 VA
重量			約 3.0 kg
*1?23 寸顯示器畫面上的倍率 (全屏顯示器時)。 *2?測量模式/測量品質(zhì)/鏡頭倍率的組合中、取最快的一組組合時。線掃描的情況下、測量間距小于 0.1 μm 時。 *3?使用 20 倍以上的鏡頭測量標(biāo)準(zhǔn)樣品 (標(biāo)準(zhǔn)刻度) 時。