8"探針臺(tái)

8"?probe station

特點(diǎn)

類型

規(guī)格

*?適應(yīng)8英寸的各種半導(dǎo)體器件的高精度測試

*?舒適大手柄驅(qū)動(dòng)CHUCK

* 20X~4000X?光學(xué)顯微放大

*?無后座力移動(dòng)

*?針座平臺(tái)可以微調(diào)升降便于探針卡再定位

顯微鏡控制

在探針臺(tái)本體的功能設(shè)計(jì)上增加了顯微鏡的氣動(dòng)升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會(huì)有碰傷樣品和鏡頭的問題

顯微鏡放大倍率：20X~4000X?（倍率可選）

顯微鏡X-Y軸行程2" x2"

chuck（卡盤）

尺寸：8英寸，圓形（方形可選）

材質(zhì)：不繡鋼（可升級(jí)鍍金）

旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動(dòng)行程：8" x8"

Chuck升降：可以快速升降6MM，并且附帶旋鈕細(xì)微調(diào)節(jié)功能

吸附孔：中心孔徑最小可做到250μm，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸為8"X8"

整體規(guī)格

尺寸：840mm長?x 660mm寬?x 700mm高(帶顯微鏡)

重量：?180 Kg(帶顯微鏡)

平臺(tái)升降：平臺(tái)上下粗調(diào)行程6mm?通過升降桿調(diào)整

平臺(tái)上下細(xì)調(diào)行程25 mm?通過旋轉(zhuǎn)手輪

U型大平臺(tái)設(shè)計(jì)，可以放置8個(gè)高端探針座，方便技術(shù)人員長時(shí)間舒適操作

可選附件：?laser（激光）系統(tǒng)、探針卡夾具、加熱臺(tái)、防震桌、帶真空底座的活動(dòng)Chuck、高壓測試/大電流測試、封裝器件夾具、PCB板夾具、屏蔽箱