產(chǎn)品詳情
工廠專業(yè)回收/出售國內(nèi)外各種型號真空鍍膜機/磁控電鍍機/ITO電鍍膜線500/900/1100/1300/1350/1550/1600/1800/2050/2700(萊寶 光弛 韓一 友誠 龍翩 昭和 南光等品牌),有專業(yè)的技術團隊,含安裝調(diào)試,保修,培訓,設備可租可售可代加工產(chǎn)品,舊設備還可以折扣置換機械,歡迎來電咨詢:181 030 45976
主要由真空室、蒸發(fā)源、膜厚監(jiān)測儀、樣品臺、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、 PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成。
主機與控制一體化設計,操控方便;結(jié)構(gòu)緊湊,
HDPE占地面積小。
主要用途:
1.開發(fā)納米級單層、多層及復合膜層等。
2.制備金屬膜、合金膜、半導體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等,例:銀、鋁、銅、C60、BCP......
應用領域:
1.高校、科研院所的教學、科研實驗及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產(chǎn)品等。
2.鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV太陽能電池等行業(yè)。
產(chǎn)品參數(shù)
外形 尺 寸 3100mm(W)*2800mm(D)*3200mm(H)
電 壓 380V
功 率 ≤10.5KW
基 片 臺 140mm*140mm(可根據(jù)客戶基片定制)
真 空 室 1500mm(W)*1500mm(D)*1500mm(H)
SUS304不銹鋼方形腔體,前后開門結(jié)構(gòu),可獨立使用,也可與手套箱對接使用
真空系統(tǒng) 分子泵+機械泵
極限真空 優(yōu)于3*10·5Pa
恢復真空時間 達到7x10-4Pa≤25min
金屬蒸發(fā)源 2-4組蒸發(fā)源(可選)
有機蒸發(fā)源 束源爐式有機蒸發(fā)源自帶控溫0-700℃可調(diào)
2-4組蒸發(fā)源(可選)
電控 系 統(tǒng) PLC觸摸屏控制,程序互鎖保護及異常報警
選 配 冷卻循環(huán)水機/膜厚監(jiān)控儀/基片臺加熱或水冷
掩膜板mask/蒸發(fā)電源/鎢舟鉬舟