光伏產(chǎn)業(yè)太陽(yáng)能板生產(chǎn)過(guò)程氣體質(zhì)量流量控制器穩(wěn)定性強(qiáng)貨期短性能
- 可用量程:0-5000 slpm;最小0-10 sccm(欲了解常備量程,請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽)
- 可調(diào)比:50:1
- 校準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±2%滿(mǎn)量程
- 可重復(fù)性:0.2%滿(mǎn)量程
- 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù):50-100ms
- 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間