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微控?cái)U(kuò)散爐

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最小起訂： 1臺(tái)
發(fā)貨地址：山東青島市
發(fā)布日期：2024-09-13
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青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

實(shí)名認(rèn)證企業(yè)認(rèn)證

聯(lián)系人：岳曉茜
手機(jī)：15314229122
電話：0532-68017154

營(yíng)業(yè)執(zhí)照：已審核
經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工-私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)
所在地區(qū)：山東青島市
家家通積分：1210分

進(jìn)入旺鋪手機(jī)旺鋪

詳細(xì)參數(shù)
品牌	福潤(rùn)德	型號(hào)	frd
密度	其他	熔點(diǎn)	其他
功率	其他	電壓	其他
等級(jí)	其他	產(chǎn)品認(rèn)證	其他
加工定制	是	是否進(jìn)口	否
顏色	其他	產(chǎn)地	山東青島

產(chǎn)品詳情

擴(kuò)散爐主要滿(mǎn)足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。

擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)：
可處理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃/24h
溫度斜變：可控升溫速率15℃／min
可控降溫速率： 5℃／min
送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：全自動(dòng)MFC
控制方式：工控機(jī)、觸摸屏

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