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百級半導(dǎo)體無塵車間裝修設(shè)計(jì)施工中改進(jìn)措施
1.潔凈車間局部百級區(qū)的上送上回氣流組織形式不符合凈化原理，應(yīng)想辦法使其氣流組織滿足上送下回（或下側(cè)回）的凈化原理。如果工藝條件允許，最簡單的補(bǔ)救措施是在層流罩兩側(cè)加軟質(zhì)垂簾（如PVC材質(zhì)的條形簾），垂簾低端能低于工作面高度，這樣就把上送上回的氣流組織形式轉(zhuǎn)化成上送下回。
2.當(dāng)層流罩距工作面的距離較大時(shí)，如果工藝條件允許，可用符合潔凈廠房要求的透明材料把局部百級工藝線從凈化車間中隔離出來，隔離材料可采用塑鋼框架、5mm厚浮法玻璃結(jié)構(gòu)，也可采用優(yōu)質(zhì)鋁合金或不銹鋼框架、5mm厚浮法玻璃結(jié)構(gòu)，這樣局部百級區(qū)的氣流組織形式就轉(zhuǎn)化為上送下側(cè)回的形式。
3.加大回風(fēng)口的回風(fēng)量，在層流罩與高效送風(fēng)口之間懸吊軟隔斷，在局部百級區(qū)的靜壓大于其周邊區(qū)的靜壓，阻止亂流氣流對局部百級區(qū)的干擾，必要時(shí)在軟隔斷的右側(cè)增設(shè)回風(fēng)口。使回風(fēng)口的回復(fù)量為層流罩送風(fēng)量的一半，另一半風(fēng)量壓入軟隔斷右側(cè)區(qū)域，即靠軟隔斷與動(dòng)壓共同控制周邊區(qū)對百級區(qū)的污染。
