產(chǎn)品詳情
? ? Edwards愛德華STP-iXA 2206系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能,可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)(成熟的STP-iXA2205系列的新技術(shù))。該泵的高度等于STP-A2203C的高度,也等于STP-iXA2205系列(不帶其電源供給(iPS-1200))的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小,可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。
用途
· 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
· 電子回旋共振(ECR)刻蝕
· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 濺射
· 離子注入源,射束線泵送和站
功能與優(yōu)勢
· 緊湊型設(shè)計,包括完全集成的控制器
· 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)
· 數(shù)字化5軸控制
· 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了50%
· 可以配置為運行腐蝕性制程