服閥是主要用于電液轉(zhuǎn)換的元件，它能把微小的電氣信號轉(zhuǎn)換成大功率的液壓能輸出。其性能的優(yōu)劣上的電磁轉(zhuǎn)矩，彈簧管反轉(zhuǎn)矩，反饋桿反轉(zhuǎn)矩等諸力對電液調(diào)節(jié)系統(tǒng)的影響很大，因此，它是電液調(diào)節(jié)系統(tǒng)的核心和關(guān)鍵。典型的伺服閥由永磁力矩馬達、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。伺服閥廣泛地應(yīng)用于電液位置，速度加速度，力伺服系統(tǒng)，以及伺服振動發(fā)生器中，它具有體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，功率放大系數(shù)高，控制精度高，直線性好，死區(qū)小，靈敏度高，動態(tài)性能好以及響應(yīng)速度快等優(yōu)點

 基本信息

• 中文名伺服閥
• 外文名Electro-hydraulic servo valve
• 應(yīng)用領(lǐng)域電液位置速度加速度力伺服系統(tǒng)等

• 釋義一種電液轉(zhuǎn)換和功率放大元件
• 地位  電液伺服系統(tǒng)控制的核心

簡介

電液伺服閥是電液伺服控制中的關(guān)鍵元件，它是一種接受模擬電信號后，相應(yīng)輸出調(diào)制的流量和壓力的液壓控制閥。電液伺服閥具有動態(tài)響應(yīng)快、控制精度高、使用壽命長等優(yōu)點，已廣泛應(yīng)用于航空、航天、艦船、冶金、化工等領(lǐng)域的電液伺服控制系統(tǒng)中。

液壓伺服閥是構(gòu)建液壓伺服控制系統(tǒng)的核心元件，因此液壓控制系統(tǒng)書籍會包含電液伺服閥內(nèi)容。[1]

發(fā)展過程

電液伺服閥技術(shù)誕生是液壓控制技術(shù)和液壓控制系統(tǒng)的發(fā)展的結(jié)果。

液壓控制技術(shù)的歷史最早可追溯到公元前240年，當(dāng)時一位古埃及人發(fā)明了人類歷史上第一個液壓伺服系統(tǒng)——水鐘。然而在隨后漫長的歷史階段，液壓控制技術(shù)一直裹足不前，直到18世紀(jì)末19世紀(jì)初，才有一些重大進展。在二戰(zhàn)前夕，隨著工業(yè)發(fā)展的需要，液壓控制技術(shù)出現(xiàn)了突飛猛進地發(fā)展，許多早期的控制閥原理及均是這一時代的產(chǎn)物。如：Askania調(diào)節(jié)器公司及Askania-Werke發(fā)明及申請了射流管閥原理的  。同樣Foxboro發(fā)明了噴嘴擋板閥原理的 。而德國Siemens公司發(fā)明了一種具有永磁馬達及接收機械及電信號兩種輸入的雙輸入閥，并開創(chuàng)性地使用在航空領(lǐng)域。

在二戰(zhàn)末期，伺服閥是用螺線管直接驅(qū)動閥芯運動的單級開環(huán)控制閥。然隨著控制理論的成熟及軍事應(yīng)用的需要，伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩級閥的 ；Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩級閥；MIT用力矩馬達替代了螺線管使馬達消耗的功率更小而線性度更好。1950年，W.C.Moog第一個發(fā)明了單噴嘴兩級伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機械反饋式兩級伺服閥；W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩級伺服閥；Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達，消除了原來浸在油液內(nèi)的力矩馬達由油液污染帶來的可靠性問題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級射流管伺服閥。并于1959年研制了三級電反饋伺服閥。

1959年2月國外某液壓與氣動雜志對當(dāng)時的伺服閥情況作了12頁的報道，顯示了當(dāng)時伺服閥蓬勃發(fā)展的狀況。那時生產(chǎn)各種類型的伺服閥的制造商有 20多家。各生產(chǎn)廠家為了爭奪伺服閥生產(chǎn)的霸權(quán)地位展開了激烈地競爭?；仡櫄v史，可以看到最終取勝的幾個廠家，大多數(shù)生產(chǎn)具有反饋及力矩馬達的兩級伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現(xiàn)代伺服閥的許多特點。如：第二級對第一級反饋形成閉環(huán)控制；采用干式力矩馬達；前置級對功率級的壓力恢復(fù)通?？蛇_到50%；第一級的機械對稱結(jié)構(gòu)減小了溫度、壓力變化對零位的影響。同時，由早期的直動型開環(huán)控制閥發(fā)展變化而來的直動型兩級閉環(huán)控制伺服閥也已出現(xiàn)。當(dāng)時的伺服閥主要用于軍事領(lǐng)域，隨著太空時代的到來，伺服閥又被廣泛用于航天領(lǐng)域，并研制出高可靠性的多余度伺服閥等尖端產(chǎn)品。

與此同時，隨著伺服閥工業(yè)運用場合的不斷擴大，某些生產(chǎn)廠家研制出了專門使用于工業(yè)場合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了第一款專為工業(yè)場合使用的73系列伺服閥產(chǎn)品。隨后，越來越多的專為工業(yè)用途研制的伺服閥出現(xiàn)了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時亦可采用鋼材）；獨立的第一級以方便調(diào)整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場合；盡量形成系列化、標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。然而Moog公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應(yīng)用場合主要集中在高壓場合，一般工作壓力在21MPa，有的甚至到35MPa，這就使閥的設(shè)計專重于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業(yè)場合的廣泛運用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場合用的比例閥。其特點為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過先進的控制技術(shù)和先進的電子裝置以彌補其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業(yè)使用的需要，把某些伺服閥轉(zhuǎn)換成工業(yè)場合的比例閥標(biāo)準(zhǔn)接口。Bosch研制出了其標(biāo)志性的射流管先導(dǎo)級及電反饋的平板型伺服閥。1974年，Moog公司推出了低成本、大流量的三級電反饋伺服閥。Vickers公司研制了壓力補償?shù)腒G 型比例閥。Rexroth、Bosch及其他公司研制了用兩個線圈分別控制閥芯兩方向運動的比例閥等等 。

伺服閥的分類及特點

伺服閥（Servo Valve）是一種控制系統(tǒng)中常用的液壓元件，主要用于精密液壓

傳動系統(tǒng)中的流量和壓力的精確控制。它通過調(diào)節(jié)液壓油的流量和壓力，實現(xiàn)精確

的位置、速度和力的控制，廣泛應(yīng)用于飛機、船舶、汽車、機床等領(lǐng)域。伺服閥根

據(jù)工作原理和結(jié)構(gòu)特點的不同，可以分為兩種主要類型：液動伺服閥和電液伺服閥。

 液動伺服閥是一種傳統(tǒng)的液壓元件，主要由閥芯、閥座、油室、壓力補償以及

電控元件等部分組成。它的工作原理是通過調(diào)節(jié)閥芯與閥座之間的間隙，以控制液

壓油的流量和壓力，從而實現(xiàn)相應(yīng)的運動控制。液動伺服閥具有以下特點：

高精度控制：液動伺服閥能夠提供高精度的位置、速度和力的控制，其控制

精度可以達到微米級，適用于對位置和速度要求較高的應(yīng)用。

快速響應(yīng)：液動伺服閥具有快速的動態(tài)響應(yīng)特性，能夠?qū)崿F(xiàn)高頻率的控制，

適用于對快速響應(yīng)的系統(tǒng)要求。

大功率輸出：液動伺服閥具有較大的功率輸出能力，能夠承載較大的負載，

適用于一些高功率的應(yīng)用。

 不過，液動伺服閥也存在一些局限性，如無法實現(xiàn)非線性控制和需要較為復(fù)雜

的電控系統(tǒng)等。

 與液動伺服閥相比，電液伺服閥是近年來液壓技術(shù)發(fā)展的新型伺服閥。電液伺

服閥集成了傳統(tǒng)液動伺服閥的液壓元素和電控元素，并通過電磁比例機構(gòu)實現(xiàn)對液

壓油流量的精確調(diào)節(jié)。電液伺服閥具有以下特點：

EMG SV1-10/4/120/6伺服閥

EMG SV1-10/4/120/6伺服閥

EMG SV1-10/8/315/6 伺服閥

EMG SV1-10/8/120/6伺服閥

EMG SV1-10/16/120/6伺服閥

EMG SV1-10/16/315/6伺服閥

EMG SV1-10/16/210/6 伺服閥 

EMG SV1-10/32/100/6伺服閥

EMG SV1-10/32/315/6伺服閥  

EMG SV1-10/32/315/8伺服閥

EMG SV1-10/32/100/6伺服閥  

EMG SV1-10/48/315/8伺服閥

EMG SV1-10/48/315/6伺服閥

EMG SV2-10/64/210/6伺服閥

EMG SV2-16/125/315/1/1/01伺服閥

EMG KLW150.012傳感器

EMG KLW225.012傳感器

EMG KLW300.012傳感器

高精度控制：電液伺服閥的控制精度高，可以實現(xiàn)微米級的位置和速度控制，

適用于對精度要求較高的任務(wù)。

簡化結(jié)構(gòu)：電液伺服閥將電控元件和液壓元件集成在一起，結(jié)構(gòu)相對簡化，

安裝和維護較為方便。

伺服閥是電液伺服控制中的關(guān)鍵元件知名品牌，它是一種接受模擬電信號后，相應(yīng)輸出調(diào)制的流量和壓力的液壓控制閥。電液伺服閥具有動態(tài)響應(yīng)快、控制精度高、使用壽命長等優(yōu)點，伺服閥可分為單級、雙級或三級三種。

伺服閥原理：

伺服閥由永磁力矩馬達、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。當(dāng)輸入線圈通入電流伺服閥時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡,閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負載。負載回油通過C1流過回油口，進入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。

伺服閥在液壓萬能試驗機中的作用液壓伺服閥通過改變輸入信號的大小，連續(xù)、雙向、成比例地控制液壓系統(tǒng)的流量或壓力，可用于位置控制、速度控制、加速度控制、力控制等各方面。電液伺服閥通常是由電氣-機械轉(zhuǎn)換器、液壓放大器（先導(dǎo)級閥和功率級主閥）、檢測反饋機構(gòu)三部分組成。

伺服閥特點：

① 結(jié)構(gòu)緊湊、體積??；

② 直線性好；

③ 動態(tài)響應(yīng)好；

④ 控制精度高。

伺服閥是一種用于控制液壓或氣壓系統(tǒng)中流體流動的裝置，通過電信號或其他輸入信號控制閥芯的位置，從而精確控制流體的流量、壓力和方向。伺服閥廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化、機械控制、液壓系統(tǒng)和氣動系統(tǒng)等領(lǐng)域。

一體伺服是指將伺服控制器集成到伺服閥內(nèi)部的一種設(shè)計方式。一體伺服將伺服電機、傳感器和控制器等組件直接集成到伺服閥內(nèi)部，形成一個緊湊的、集成化的裝置。這種設(shè)計方式可以減小系統(tǒng)的占地面積，簡化安裝和布線，提高控制精度和響應(yīng)速度。

一體伺服在伺服閥中的集成可以實現(xiàn)以下優(yōu)勢：

（1）緊湊設(shè)計：一體伺服將多個組件集成到一個裝置中，減小了系統(tǒng)的占地面積，適用于空間有限的應(yīng)用場景。

（2）更高的控制精度：一體伺服通過直接控制閥芯的位置，實現(xiàn)更精確的流量、壓力和方向控制，提高系統(tǒng)的控制精度。

（3）更快的響應(yīng)速度：一體伺服減少了信號傳輸?shù)臅r間延遲，實現(xiàn)更快的響應(yīng)速度，適應(yīng)對于快速控制要求的應(yīng)用場景。

（4）簡化安裝和布線：一體伺服減少了傳統(tǒng)伺服系統(tǒng)中的連接線纜和接口，簡化了安裝和布線的過程，降低了系統(tǒng)的復(fù)雜性。

伺服閥的主要作用包括控制流量和壓力、實現(xiàn)位置和速度控制、提高系統(tǒng)的安全性和可靠性等。以下是關(guān)于伺服閥作用的詳細介紹：¹²

• 控制流量和壓力。伺服閥能夠根據(jù)需要調(diào)節(jié)液壓或氣動系統(tǒng)的流量和壓力，確保系統(tǒng)的穩(wěn)定和可靠。¹²

• 實現(xiàn)位置和速度控制。伺服閥可精確控制液壓缸和液壓馬達的位置和速度，提高機械運動的精度和效率。¹²

• 提高系統(tǒng)的安全性和可靠性。伺服閥在系統(tǒng)中控制壓力和流量，防止因過高的壓力或流量而發(fā)生故障，保障系統(tǒng)安全。¹³

• 廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。伺服閥被廣泛應(yīng)用于工業(yè)控制、機器人技術(shù)、航空航天、機床加工和液壓發(fā)電等多個領(lǐng)域。³⁶

此外，伺服閥還可以通過電信號調(diào)節(jié)液壓功率，實現(xiàn)功率的精確調(diào)節(jié)，提高工業(yè)生產(chǎn)的效率和精確度

出量與輸入量成一定函數(shù)關(guān)系并能快速響應(yīng)的液壓控制閥﹐是液壓伺服系統(tǒng)的重要元件。液壓伺服閥按結(jié)構(gòu)分為滑閥式﹑噴嘴擋板式﹑射流管式﹑射流板式和平板式等﹔按輸入信號可分為機液伺服閥﹑電液伺服閥和氣液伺服閥。機液伺服閥是將小功率的機械動作轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽?流量或壓力)的機液轉(zhuǎn)換元件。機液伺服閥大都是滑閥式結(jié)構(gòu)﹐在船舶的舵機﹑機床的仿形裝置﹑飛機的助力器上應(yīng)用最早。電液伺服閥是將電量轉(zhuǎn)變成液壓輸出量的電液轉(zhuǎn)換元件﹐出現(xiàn)於1940年。到50年代﹐這種元件的結(jié)構(gòu)趨於成熟。隨著電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展﹐電液伺服系統(tǒng)的性能得到顯著改善﹐大大優(yōu)於其他的液壓伺服系統(tǒng)﹐因而得到廣泛應(yīng)用。電液伺服閥的內(nèi)部結(jié)構(gòu)可分滑閥位置反饋﹑載荷壓力反饋和載荷流量反饋﹔閥的級數(shù)可分單級﹑雙級和多級。在電液伺

EMG KLW360.012傳感器

EMG KLW450.012傳感器 糾偏系統(tǒng)

EMG KLW600.012傳感器

EMG LLS675/02 LICHTBAND對中整流器

EMG發(fā)射光源/L1C770/01-24VDC/3.0A升級型號LLS875/01

EMG DMC2000-B3-160-SMC002-DCS電動執(zhí)行器

EMG LIC2.01.1電路板

EMG EVB03/235351放大器    

EMG DMCR59-B1-10電動執(zhí)行器  

EMG EVK2-CP/300.02/R光電傳感器EMG位置傳感器LWH-0300

EMG電動執(zhí)行器DMCR59-B1-10

EMG伺服閥SV1-10/32/315/6

EMG伺服閥SV1-10/32/315/8

EMG伺服閥SV1-10/48/315/8

EMG推動桿EB1250-60IIW5T

EMG推動桿EB800-60II

EMG推動桿EB220-50/2IIW5T

EMG推動桿EB300-50IIW5T

EMG發(fā)射光源L1C770/01-24VDC/3.0A  

EMG制動器ED121/6 2LL5   551-1

EMG光電探頭EVK2-CP/800.71L/R

EMG放大器EVB03/235351

EMG電路板SMI 2.11.3/235990

EMG泵DMC 249-A-40 

EMG泵DMC 249-A-50 

EMG泵DMC 30 A-80 

EMG泵DPMC 59-V-8 

EMG位置傳感器LWH-0300

EMG電動執(zhí)行器DMCR59-B1-10

EMG電動執(zhí)行器DMCR59-B1-10

EMG伺服閥SV1-10/32/315/8

EMG伺服閥SV1-10/48/315/8

EMG伺服閥SV2-10/64/210/6

EMG 攝像頭 LS13.01   

SV1-10/4/315/6   SV1-10/4/100/6  SV1-10/8/100/6 

服閥中﹐將電信號轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式﹐不浸泡在油液中的稱為乾式。其中以滑閥位置反饋﹑兩級乾式電液伺服閥應(yīng)用最廣。圖 電液伺服閥的工作原理圖 為電液伺服閥的工作原理。力矩馬達在線圈中通入電流后產(chǎn)生扭矩﹐使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動﹐移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時﹐就在主閥芯兩端面上產(chǎn)生壓力差推動主閥芯左移﹐使壓力油口P S與載荷1口相通﹐回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時通過反饋桿對力矩馬達產(chǎn)生的力矩和擋板的位移進行負反饋。因此﹐主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化﹐從而控制通向液壓執(zhí)行元件的流量和壓力。氣液伺服閥是將氣動量轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽康臍庖恨D(zhuǎn)換元件。

伺服閥是一種用于控制流體流動的設(shè)備，主要通過改變閥門的開啟程度來調(diào)整流體的流量。

伺服閥在自動化系統(tǒng)中得到廣泛應(yīng)用，用于精確控制壓力、流量和方向。伺服閥采用電、液或氣信號來驅(qū)動，以實現(xiàn)精密的流體控制。

伺服閥的工作原理基于反饋系統(tǒng)，其中傳感器測量輸出參數(shù)（例如壓力、流量或位置）并將信息反饋給控制單元?？刂茊卧c執(zhí)行機構(gòu)連接，通過調(diào)整閥門的位置來維持或調(diào)整所需的輸出參數(shù)。這種反饋機制使得伺服閥能夠?qū)崟r調(diào)整并保持系統(tǒng)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

伺服閥的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括工業(yè)自動化、液壓系統(tǒng)、航空航天、汽車工業(yè)等。在這些領(lǐng)域，伺服閥能夠提供高精度、高響應(yīng)性和可靠性的流體控制，適用于需要復(fù)雜運動和高性能的系統(tǒng)。