主營產(chǎn)品：上海諧波減速機|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSF-17-50-2UH |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 同軸式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 111kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 1782N.m |
| 使用范圍 | 礦產(chǎn) | 減速比 | 232 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
干法清洗采用氣相化學(xué)法去除晶片表面污染物。哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH氣相化學(xué)法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過程就是將熱化學(xué)氣體或等離子態(tài)反應(yīng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室，反應(yīng)氣體與晶片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成易揮發(fā)性反應(yīng)產(chǎn)物被真空抽去。哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH各種污染物的去除措施分別列于表4。在CI包容環(huán)境中退火是一種典型的熱氧化過程，在氧化爐中進行，氬（Ar）濺射通常在濺射淀積前現(xiàn)場進行。
等離子清洗采用激光、微波、熱電離等措施哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH將無機氣體激發(fā)到等離子態(tài)活性粒子，活性粒子與表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子，產(chǎn)物分子進一步解析形成氣相殘余物脫離表面。 4 y)
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