產(chǎn)品詳情
主要特點(diǎn)
??此款設(shè)備由電動(dòng)滑軌式管式爐、三路供氣系統(tǒng)、真空及過濾系統(tǒng)、前驅(qū)體鼓泡裝置，氣體預(yù)熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅(qū)體為非氣態(tài)源，如固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體，前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃，且溫度獨(dú)立可調(diào)，固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。
設(shè)備結(jié)構(gòu)
1.????左右兩端進(jìn)氣抽氣可相互切換；提高基體上涂層的均勻性；
2.????爐體底部在電機(jī)帶動(dòng)下可在導(dǎo)軌上水平移動(dòng)，移動(dòng)速度根據(jù)工藝需要可設(shè)置。??
3.????采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。
4.????供氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗(yàn)需求配置幾路質(zhì)量流量計(jì)，流量計(jì)的量程可選，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。
技術(shù)參數(shù)：
加熱系統(tǒng)
|
最高溫度 |
1200℃（1 hour) |
|
使用溫度 |
≤1100℃ |
|
爐膛有效尺寸 |
Φ40*800mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） |
|
爐膛材料 |
高純氧化鋁纖維 |
|
熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
控溫方式 |
?30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定， |
|
?操作界面為10”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序 |
|
|
加熱長(zhǎng)度 |
150mm |
|
恒溫長(zhǎng)度 |
70mm |
|
加熱原件 |
電阻絲 |
|
供電電源 |
220V，50Hz |
|
額定功率 |
2KW |
?
三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
|
連接頭類型 |
Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
|
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) |
100sccm，100sccm、200sccm；（可根據(jù)用戶要求定制） |
|
準(zhǔn)確度 |
±1.5% |
|
線性 |
±0.5～1.5% |
|
重復(fù)精度 |
±0.2% |
|
響應(yīng)時(shí)間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
|
工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
|
最大壓力 |
3MPa |
|
接口 |
Φ6,1/4'' |
真空機(jī)組
|
工作電電壓 |
220V±10%? 50~60HZ |
|
功率 |
1千瓦 |
|
抽氣速率 |
10m3/h |
|
極限真空 |
5X10-1Pa |
|
耐壓值 |
0.03MPa |
|
容油量 |
1.1L |
|
進(jìn)排氣口徑 |
KF25 |
|
噪音 |
50dB |
|
連接方式 |
采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
?
