產品詳情
寒武紀技術系列真空等離子處理設備為單機式等離子表面處理設備，具有基材表面活化、去膠、清洗等效果，常用于貼附、粘膠、印刷、絲印、焊接等工序前預處理，主要應用領域有半導體、LED、汽車制造、3C電子、電子線路板、生物醫(yī)療等。
如下圖為設備外形圖：
真空等離子清洗機原理：在密封腔室中，設置兩個電極形成電磁場（電容耦合放電），用真空泵實現(xiàn)一定程度的真空環(huán)境，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離越來越長，受磁場作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時會發(fā)生輝光。等離子體在電磁場空間內運動，并轟擊被處理產品表面，伴隨一定的粒子件的結合和分解，從而達到產品表面處理、清洗、刻蝕等效果。
設備主要參數(shù):
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進電需求 |
單相220V/AC,50-60Hz |
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控制操作 |
PLC+HMI |
三菱+威綸通 |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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射頻功率 |
Max 300W，600W，1000W |
選配 |
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真空泵 |
雙極旋片式真空油泵 |
可選配干泵 |
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真空泵抽速 |
≥60m³/h |
可選配 |
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真空腔體材質 |
不銹鋼316 |
陶瓷絕緣 |
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真空保壓 |
＜20Pa/min |
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工作真空度 |
5-100Pa可設 |
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工藝氣體通道 |
標配2路（氧氣和氬氣，其他氣體可定制） |
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氣體質量流量計 |
MFC：0-200sccm |
標配 |
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設備極限真空度 |
≤3Pa |
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報警功能 |
工藝氣體氣壓報警、RF功率報警、壓縮空氣氣壓報警、工藝氣體流量報警、相序報警、真空泵異常報警等（屏幕顯示及三色燈聲光報警） |
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參數(shù)配方 |
可自行設置及保存調用參數(shù)配方，配方包含氣體流量、RF功率、工作真空度、等離子處理時間等參數(shù)，可保存配方≥50條 |
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監(jiān)控功能 |
實時RF功率、真空度、氣體流量、等離子處理時間等 |
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電極層數(shù) |
標配五層電極，電極間距40mm |
可根據(jù)客戶需求定制 |
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有效處理層數(shù) |
標配托盤4層 |
可定制 |
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有效處理面積 |
可定制 |
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設備治具 |
標配鋼絲網(wǎng)托盤，可定制 |
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放電方式 |
CCP（電容耦合放電） |
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外部接氣 |
氣壓≥0.6MPa，外徑6mmPU軟管 |
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設備故障率 |
≤1% |
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設備功能
本設備為等離子表面處理設備，專注于各類產品基材表面的清潔、活化及表面張力的提升。設備具有完善的真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及人機界面、進氣系統(tǒng)、等離子體發(fā)生系統(tǒng)、高真空密封腔室、鈑金框架等，可以實現(xiàn)高真空環(huán)境下的等離子體發(fā)生，精準控制各類特種氣體進量，進而實現(xiàn)多種活性基團、粒子等對基材表面的精密處理。
設備一般運行流程如下：真空等離子處理設備主要包括等離子發(fā)生器、真空泵、真空腔體，輸送管路等。在等離子體處理時，首先利用真空泵將真空腔體內的空氣抽至設定的工作真空度，然后通過輸送管路將工作氣體輸入正空腔體內部，當氣體含量達到設定要求后等離子發(fā)生器啟動，通過真空腔體內部的上下正負電極之間放電將工作氣體電離從而產生Plasma，然后對樣品表面進行處理，來達到改變表面活性和清潔等目的。
