產(chǎn)品詳情
? ?設(shè)備槪況
1.??尺寸(參考)：約?6200W×2000D×2400H（(具體尺寸根據(jù)實(shí)際圖紙確定）
2.??清洗件規(guī)格：一次性可清洗8寸晶片 兩籃
3.??典型生產(chǎn)節(jié)拍：5~10min/籃(清洗節(jié)拍連續(xù)可調(diào)）
4.??門：PVC透明視窗
主題構(gòu)造特點(diǎn)
設(shè)備由是在一個(gè)
? 設(shè)備槪況
1.??尺寸(參考)：約?6200W×2000D×2400H（(具體尺寸根據(jù)實(shí)際圖紙確定）
2.??清洗件規(guī)格：一次性可清洗8寸晶片 兩籃
3.??典型生產(chǎn)節(jié)拍：5~10min/籃(清洗節(jié)拍連續(xù)可調(diào)）
4.??門：PVC透明視窗
? 主題構(gòu)造特點(diǎn)
設(shè)備由是在一個(gè)腐蝕的環(huán)境，我們?cè)O(shè)備的排風(fēng)方式，臺(tái)面下抽風(fēng)，每套工藝清洗槽都有自動(dòng)開(kāi)閉的槽蓋，槽蓋下有單獨(dú)的抽風(fēng)裝置。
設(shè)備結(jié)構(gòu)外型，整機(jī)主要由機(jī)架、工藝槽體、機(jī)械手傳輸系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。
由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強(qiáng)，設(shè)備需要做防腐處埋：
1.??設(shè)備機(jī)架采用碳鋼結(jié)構(gòu)骨架進(jìn)口PVC板包塑；
2.??殼體采用鏡面SUS316L不銹鋼焊接，制程區(qū)由耐腐蝕的SUS316L板材組臺(tái)焊接而成；
3.??電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離；
4.??槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料；
5.??機(jī)械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處埋。
腐蝕的環(huán)境，我們?cè)O(shè)備的排風(fēng)方式，臺(tái)面下抽風(fēng)，每套工藝清洗槽都有自動(dòng)開(kāi)閉的槽蓋，槽蓋下有單獨(dú)的抽風(fēng)裝置。設(shè)備結(jié)構(gòu)外型，整機(jī)主要由機(jī)架、工藝槽體、機(jī)械手傳輸系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。
由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強(qiáng)，設(shè)備需要做防腐處埋：
1.??設(shè)備機(jī)架采用碳鋼結(jié)構(gòu)骨架進(jìn)口PVC板包塑；
2.??殼體采用鏡面SUS316L不銹鋼焊接，制程區(qū)由耐腐蝕的SUS316L板材組臺(tái)焊接而成；
3.??電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離；
4.??槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料；
5.??機(jī)械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處埋。
