產(chǎn)品詳情
AWM5000系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器
AWM5000系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器
常用型號：
AWM5101
AWM5102
AWM5103
AWM5104
描述 ：
在線流量測量 AWM5000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器采用文丘里管式外殼，可測量流速高達(dá) 20SLPM，且引發(fā)的壓降不超過 2.25英寸水柱。微橋芯片直接接觸氣流，極大地降低了由于通孔或旁路堵塞而引起誤差的可能性。
封裝堅固通用堅固的塑封設(shè)計可承受高達(dá) 50psi 的共模壓力。內(nèi)部的小型傳感元件可經(jīng)受 100gs 的沖擊且對性能無影響。自帶AMP 兼容連接器，在高要求應(yīng)用場合可實現(xiàn)可靠的連接。
內(nèi)置信號調(diào)理電路每款 AWM5000 傳感器均帶有涵蓋放大、線化、溫度補償、及氣體標(biāo)定功能的電路系統(tǒng)。發(fā)熱控制電路和傳感橋電路和放大線化電路顯示了 AWM5000 系列內(nèi)置的電路系統(tǒng)。所有型號均可提供 1 至 5 VDC 的線性輸出，而無需考慮流量范圍（5、10、15、或 20SLPM）或標(biāo)定氣體（氮氣、二氧化碳、一氧化二氮、或氬氣）。標(biāo)定均通過有源激光校準(zhǔn)完成。
特點
● 線性電壓輸出
● 文丘里管設(shè)計
● 遠(yuǎn)程安裝功能
● 有源激光校準(zhǔn)，互換性更高
● 多種標(biāo)定氣體類型 ：
- 氬氣
- 氮氣，或
- 二氧化碳
注 ：
1. 線性度指標(biāo)適用于 2-100% 滿量程的氣流范圍，不適用于 0 SLPM 時零點輸出的情況。
2. 在 50 psi 的共模壓力下，AWM5000 系列產(chǎn)品每分鐘泄露低于 0.1 psi。若安裝過程中與流量管相接的配接頭發(fā)生扭曲，O 型圈與流量管之間的密封可能會被破壞，從而引發(fā)暫時性的泄漏。該種泄漏可能達(dá)到 1 psi，也可能仍保持在指標(biāo)范圍內(nèi)。更換 O 型圈后密封會恢復(fù)。約 85% 的泄漏會在 24 小時內(nèi)逐漸消除。48 小時內(nèi)可完全恢復(fù)。
3. SLPM 即標(biāo)準(zhǔn)公升每分鐘流量值，是一種流量單位，其規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)條件為 0℃ /1 bar ( 水平面 )、50% 相對濕度。
連接器訂購指南
注 ：在標(biāo)定氣體相應(yīng)給定的流量范圍內(nèi)，所有型號均可通過 10 VDC 供電實現(xiàn) 1-5 VDC 的線性輸出。
1. 氮氣標(biāo)定同氧氣和大氣標(biāo)定。
2. 二氧化碳標(biāo)定同一氧化二氮標(biāo)定。
