產品詳情
產品名稱：ENTEGRIS-化學空氣過濾器-VaporSorb CSP-32
產品型號：VaporSorb CSP-32
產品介紹：Entegris 是微電子行業(yè)空氣分子污染 (AMC) 控制領域的佼佼者。 我們的 VaporSorb CSP-32 化學空氣過濾器為曝光工具光學元件和光刻膠提供保護。 CSP-32 過濾器包含碳和聚合化學介質的獨特組合，可針對并去除分子酸（如 HCl、H2SO4 和 HNO3）、酸形成物質（如 SO2）、分子堿（如 NH3、NMP 和 胺）和可冷凝有機化合物，定義為沸點大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。專門設計用于 Entegris 的定制過濾器外殼，例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 過濾器以串聯(lián)方式使用，以提供保護，防止意外和升高的污染事件，包括意外的溶劑和顯影劑化學品泄漏。
性能特點：
不對稱濾波器設計可防止 HDMSO 轉換為 TMS
去除酸、堿和可冷凝的有機物
折疊式過濾器設計采用剛性深框
低壓降使多個保護層的串聯(lián)過濾器布局成為可能
堆棧間采樣端口，便于監(jiān)控
上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術詢問，工業(yè)自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業(yè)技術應用及產品供應服務。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲，一舉鞏固了采購能力，擴大了由工廠直采加產品集散帶來的二度成本優(yōu)勢，進而提升了終端服務效率與水平。
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