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臺泉鈦材質立式液下泵，泵體采用鈦合金精密鑄造成型，無砂孔問題，可耐強酸堿和強腐蝕。電機與泵體是一體形同軸設計，不僅僅保證了電機的穩(wěn)固性，而且水泵具備了空轉性能。水泵廣泛使用于電渡、涂裝、化工、PCB線路板、環(huán)保設備等方面。
鈦泵由兩組主泵和一組次泵組成，其排列位置如。 鈦吸附泵主要由鈦升華器和吸附器兩大部分組成，本文將主要從這兩方面介紹我們的設計和計算過程。根據實驗要求，兩個真空室的兩組鈦泵的抽速要求分別為8.0×105L/s和1.5×105L/s。如果氣體壓強很低(氣體分子數遠小于蒸著的鈦分子數)，鈦蒸著率足夠高，即使再增大比蒸著率，所捕獲的分子數也不再增加，此時的粘著系數達到最大值并稱為“本征粘著系數”。它在一定范圍內與比蒸著率無關，是表征新鮮鈦膜吸氣特征的一個重要物理量。對于H2，液氮冷卻下的e比水冷的室溫下的要大幾倍，但從造價低和操作方便考慮，選用水冷。根據以往相關實驗數據顯示，室溫下鈦表面對氫的抽速為1～1.5L/scm2，我們按1.1L/scm2設計。
