1/4" 1/2"不銹鋼VCR接頭 EP級面密封 晶圓半導(dǎo)體電子級接頭

電子特氣材料具體包括半導(dǎo)體前驅(qū)體材料/旋涂絕緣介質(zhì)(SOD)、電子特氣、半導(dǎo)體材料輸送系統(tǒng)

(LDS)、光刻膠和球形硅微粉等業(yè)務(wù)種類。產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路芯片制造的旋涂、化學(xué)氣相沉

積及原子層沉積等成膜工藝，集成電路清洗、刻蝕，集成電路封裝等。

VCR接頭材質(zhì)上，接管（Gland）、本體（Body）和螺母（Nut）的材質(zhì)一般為SUS316 或SUS316L。

墊片（Gasket）的材質(zhì)一般為 SUS316L鎳或銅（銅墊片現(xiàn)在基本不使用），墊片有鍍銀和不電鍍之分。

VCR內(nèi)螺紋螺母（FemaleNut）的內(nèi)螺紋經(jīng)過鍍銀處理，以防止磨損。

氣體行業(yè)的主要產(chǎn)品包括氧氣、氫氣、一氧化碳、氮氣等等重要的大宗工業(yè)原料，對純度要求并

不高。后隨著電子工業(yè)等高新技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了電子氣體及其它特殊用途的高純氣和混合氣，

統(tǒng)稱為特種氣體。由于特種氣體是當(dāng)時的新興行業(yè)，涉及的氣體品種繁多，應(yīng)用范圍又很廣，各

國對特種氣體沒有形成統(tǒng)一的定義和分類。近10年，國內(nèi)電子氣體不斷實現(xiàn)高端品種的技術(shù)突破，

與國外的技術(shù)代差逐漸縮小，外資氣體公司在華的壟斷格局松動，國產(chǎn)氣越來越多地進(jìn)入下游大

客戶的供應(yīng)鏈。

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凈系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)及高壓系統(tǒng)。因為采用了金屬密封元件，VCR接頭的額定工作溫度范圍比較廣（

采用SUS316L墊片的 VCR接頭，溫度額定值可達(dá)537℃）。VCR接頭便于安裝，具有最小拆卸間隙，可

以反復(fù)拆裝（拆卸后重新安裝需要更換新墊片）。

1、安裝步驟

安裝前要確保TUBE管連接端的表面沒有缺陷（無凹陷、凸起或刮痕等），端面經(jīng)切割和平口成90

度，并且去除了管內(nèi)外毛刺。

VCR接頭安裝步驟：

（1）需要連接的VCR組件如圖1所示。

（2）分別將外螺紋螺母（Male Nut）和內(nèi)螺紋螺母（Female Nut）套在接頭（Gland）上，然后分別同需要連接的TUBE管自動焊接

（3）安裝金屬墊片：如果是帶爪墊片，將墊片卡在Gland上（注意不要劃傷Gland的密封面）；如果是無爪墊片，將墊片放進(jìn)Female Nut內(nèi)。

（4）用手指擰緊內(nèi)、外螺母。

（5）用記號筆在內(nèi)、外螺母的六角頭上劃線做記號。

（6）用一個扳手固定外螺紋螺母，另一個扳手向內(nèi)擰緊內(nèi)螺紋螺母1/4圈

我國電子氣體市場大部分由幾大國際巨頭所占據(jù)，高端氣體更是幾乎完全依賴進(jìn)口，一方面價格

昂貴，進(jìn)口氣價格一般會達(dá)到國產(chǎn)氣的2-3倍甚至更高，增加IC產(chǎn)業(yè)制造成本，削弱了我國IC產(chǎn)業(yè)

的競爭力;另一方面某些核心尖端氣體海外巨頭對我國實施各種封鎖限制，供應(yīng)情況受國際關(guān)系影

響，對我國國家安全及經(jīng)濟(jì)發(fā)展構(gòu)成威脅。此外，很多電子氣體本身屬于危險化學(xué)品，進(jìn)口手續(xù)

繁瑣、周期長，且某些電子氣體性質(zhì)不穩(wěn)定自發(fā)分解，或強(qiáng)腐蝕長時間放置雜質(zhì)含量提高，漂洋

過海進(jìn)口本身就存在諸多不便。

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